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原子力显微镜轻敲模式下相位成像技术是一种能够提供其它SPM技术或显微术不能提供的纳米分辨率表面特性信息的新兴显微技术。对材料表面细节高度敏感的相位图包含表面形貌、结构、硬度、粘弹性等诸多材料表面性质的信息,需要依据一种相位-材料表面特性单一确定性关系才能从相位移图中获得某一特定表面性质的信息。论文基于分离变量的思想着力于建立相位关于样品表面特性——表面形貌的单一性关系。首先,论文对来自原子力显微镜系统的各项参数——悬臂振动频率,逐行扫描频率,自由振幅,参考振幅,探针形貌等和来自于样品表面的