应用于纳米尺度下集成电路化学机械抛光图形效应原理和模型研究

来源 :中国科学院大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户:tangjun6422443
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
其他文献
由于太阳能电池能将清洁、可再生的太阳能转化为电能,近年来越来越多人关注太阳能电池的研究和优化工作,然而在提高能量转换效率以及降低成本等方面仍有许多工作等待人们解决。
学位
2019年12月31日,由经济日报社(集团)《经济》杂志社、《企业观察报》社、《城市名片》栏目组、中国投资协会项目投融资专业委员会、中国东方文化研究会对外经济文化发展委员
期刊
本文针对传统施工过程中造价管理控制存在信息缺失,缺乏造价数据及时确认等问题,介绍了基于BIM技术的工程造价管理,从BIM在建设工程造价信息管理中的可视化操作、投资决策阶
请下载后查看,本文暂不支持在线获取查看简介。 Please download to view, this article does not support online access to view profile.
习近平总书记在中央政治局第十八次集体学习时强调,区块链技术的集成应用在新的技术革新和产业变革中起着重要作用.我们要把区块链作为核心技术自主创新的重要突破口,明确主
期刊
甲烷(CH4)已成为继二氧化碳(CO2)之后全球第二大温室气体。内蒙古温带典型草原是欧业大草原的重要组成部分,具有典型的生态地域代表性。全球变化引起内蒙古草原温度和水分的
随着航天飞行器的不断发展,可与飞行器等载体表面共形的天线阵列成为天线领域的研究热点。但是共形天线的设计与分析也存在许多困难,特别是在毫米波频段。毫米波频段在高性能化
随着全球经济的高速发展,近年来汽车保有量呈持续增长的趋势,使得智能交通的应用和发展也得到越来越多的关注。感兴趣目标的检测与识别技术,作为智能视频监控系统的基础,在智能交
请下载后查看,本文暂不支持在线获取查看简介。 Please download to view, this article does not support online access to view profile.
期刊