石墨烯电学回路的制造是研究石墨烯本身的电学特性和将其应用在各种微纳电子器件中的基础。论文从机械剥离法制备石墨烯出发,采用多种微纳加工技术制造石墨烯的电学回路,围绕电学回路的制造工艺和石墨烯的电学特性进行了深入研究,研究了基于不同微纳加工技术制造出的石墨烯电学回路的电学特性。本文主要内容包括:(1)采用改进后的机械剥离法制备了少层大面积的石墨烯,厚度在1~3层,尺寸在100μm左右。采用光学显微镜对石墨烯的层数和尺寸进行了初步表征,标记定位了石墨烯在基底上的位置;再通过原子力显微镜表征了石墨烯表面形貌和厚度;最后通过拉曼光谱中G峰与2D峰之间的相对强度和D峰强度,表征了石墨烯的层数和缺陷情况。(2)采用负胶的Lift-off工艺,采用微纳加工技术中光刻技术和金属沉积的加工手段制造了基于石墨烯的电学回路,研究了在光刻工艺过程中的光刻胶残留问题和金属剥离中石墨烯脱落问题,测试并分析了石墨烯电学回路的电学特性,得到了两种不同类型的源漏电流-栅极电压(I_d-V_g)曲线,包含有双极型曲线和单极型曲线。对石墨烯电学回路的电学性能影响因素,从基底、金属接触和石墨烯表面掺杂三个方面进行了分析。(3)采用正胶的Lift-off工艺,制造了石墨烯电学回路中的金属电极,后采用干法转印技术和聚焦离子束加工技术两种方式制造了石墨烯的电学回路。测试并分析了石墨烯电学回路在两种不同制造方法下的电学特性,得到了两种不同类型的石墨烯电学回路的电学特性,并分析了其电学特性差异的产生原因。(4)研究了退火和空气吸附对石墨烯电学回路的电学特性影响,通过退火实现了石墨烯表面的脱吸附。