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离子束辅助低损耗TiO2光学薄膜研究
【摘 要】
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二氧化钛(TiO_2)作为金属钛的高价氧化物,是一种宽禁带氧化物材料,具有结构稳定、机械性能好、化学稳定性优秀等特性。因其优异的化学和物理特性,目前在光催化、太阳能利用、气体传感器等领域已经有较为成熟的应用。当氧化钛作为光学薄膜材料时,折射率高,在光谱的可见光和近红外光区域高透,因其优异的光学性能,在光学薄膜领域逐渐有广泛的应用。开展关于低损耗TiO_2光学薄膜的相关研究具有十分重要意义,本文针对
【出 处】
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中国科学院大学(中国科学院光电技术研究所)
【发表日期】
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2021年08期
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