液晶显示屏(LCD)以其体积小、功耗低、接口方便控制的优点在智能电子产品中得到了广泛的应用。LCD的厚度及其均匀性直接影响显示清晰度性能,因此对LCD厚度的测量意义重大。本文对常见的厚度测量方法原理和特点进行分析比较,根据LCD自身特点和测量要求,设计了双路白光显微干涉测厚系统。主要内容如下:1.系统采用Mirau干涉分光光路,分为左右相同且位置对称的两装置,左右装置建立统一坐标系来确定其对应的位置关系。两束白光分别聚焦到被测物体左右表面上,两CCD分别采集左右被测物体表面形成的白光干涉图像,在统一坐标系下分析两CCD上的白光干涉图像从而得到被测物体的厚度。2.在此测量原理基础上,选择白光光源、Mirau干涉显微镜、图像采集装置等光学元件设计干涉光学成像系统和相应的机械结构。3.使用MATLAB处理采集到的白光干涉图像,得到十字刻线中心提取算法、计算任意方向条纹斜率算法。特别是提出了一种提取白光零级干涉条纹中心位置的三色条纹分离度方法,与现有的提取白光零级干涉条纹中心位置方法相比,这种新方法基于白光干涉条纹的物理本质,定位更加简单、可靠。4.对搭建的双路白光显微干涉系统进行光路微调整、系统标定以及测厚实验,通过与精度为0.1μm的立式测长仪进行比较验证系统的可靠性,测量分辨率可以达到0.4nm,系统测量被测表面相对厚度量程约为0-8μm,基本满足液晶显示屏测量要求。