论文部分内容阅读
随着微电子学的迅猛发展及人们对于电子器件小型化程度要求不断地提高,市场上的电子产品也就越来越小。尽管尺寸减小了,但是对这些电子产品性能的要求却是越来越高的,要求他们的容量越来越大,响应速度越来越快等等,其中当然也包括记忆性的产品,如静态随机存储器、动态随机存储器等。而在这些存储及记忆性产品及器件中,介电材料的介电常数会最终决定器件的小型化的程度。而在小型化程度方面,毋庸置疑,与其他材料相比,薄膜材料在提高电子产品及器件的小型化程度方面具有明显的优势。综合这两个方面,可以知道,为了迎合小型化的发展趋势