【摘 要】
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在“十三五”和“十四五”国家重点研发计划中,印刷及柔性显示被列为新型显示的重要技术领域,有机发光二极管（Organic Light-Emitting Diode,OLED）作为新型显示技术,由于其广色域、快速响应、高对比度、节能、厚度薄、可柔性显示等优点,获得广泛关注。OLED功能层材料（活泼金属阴极和有机层）很容易受到空气中水、氧侵蚀而逐渐损坏,通过有机材料喷墨打印工艺完成薄膜封装（Thin F
【基金项目】
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国家自然科学基金面上项目:电流体喷印飞升级墨滴阵列调控机理研究（51975236）； 国家重点研发项目:高性能印刷电子器件的高精度跨尺度喷印制造基础研究（2018YFA0703203）； 广东省重点领域研发项目:印刷 OLED 显示高精度喷墨打印设备研发及应用（2019B010924005）；
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在“十三五”和“十四五”国家重点研发计划中,印刷及柔性显示被列为新型显示的重要技术领域,有机发光二极管（Organic Light-Emitting Diode,OLED）作为新型显示技术,由于其广色域、快速响应、高对比度、节能、厚度薄、可柔性显示等优点,获得广泛关注。OLED功能层材料（活泼金属阴极和有机层）很容易受到空气中水、氧侵蚀而逐渐损坏,通过有机材料喷墨打印工艺完成薄膜封装（Thin Film Encapsulation,TFE）,以确保发光材料工作中隔绝水氧,成为柔性OLED制造系统中必须研究的难题。为保证喷印打印装备TFE制备膜层厚度均匀性,本文针对TFE图案化算法展开研究,主要研究内容包括:（1）提出了一种喷墨打印TFE图案化方案以实现膜厚及均匀性控制,并基于该方案设计了喷墨打印TFE工艺。该图案化方案主要包括TFE输入图案计算方法、膜厚闭环控制方法和图案化规划方法。根据TFE图案化规划方法原理,提出了一个基于液滴智能混合的TFE图案化规划模型,并设计实现了喷墨打印TFE图案化规划算法,在此基础上开发了喷墨打印TFE图案化软件系统,实现了TFE图案化规划、设备控制等功能。（2）基于改进的遗传算法提出了一种具有局部收敛检测和提前终止迭代机制的TFE图案化规划算法,提高了TFE规划效率及结果精度。在多尺寸灰度图案打印中,该算法能够自适应规划喷头路径并根据成百上千个喷孔喷射液滴体积数据合理规划每个喷孔的喷射,提高TFE喷印效率及成膜均匀性。（3）通过仿真和实验验证了本文提出图案化规划算法的效率及有效性。在NEJ-E/P200型装备上开发了喷墨打印TFE图案化软件,并将本文算法集成到喷墨打印TFE软件系统,实验表明利用本文规划算法打印13μm膜层不均匀性从25.77%降到8.43%,并且排除环境因素影响后膜层不均匀性从8.43%进一步减小到4.97%。总之,本文对喷墨打印OLED TFE图案化方案进行了系统的探索,利用本文图案化方案可以制备均匀性较好的TFE膜层。本文研究彰显了喷墨打印技术在OLED TFE生产中的发展前景。
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