【摘 要】
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当薄膜的厚度小到一定程度后,它的热物理性质就会不同于相应的体材料,体现出微尺度特性。本论文从实验角度出发,采用交流量热法对二氧化硅、氮化硅和多晶硅薄膜的热扩散率进行研究。 本文首先简要介绍了热传导的概念、微尺度判据和微尺度对宏观传热理论的挑战;接着总结了两步模型、声子辐射传输模型、声子散射模型和热波模型等微观传热模型;然后介绍簿膜热扩散率的测...
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当薄膜的厚度小到一定程度后,它的热物理性质就会不同于相应的体材料,体现出微尺度特性。本论文从实验角度出发,采用交流量热法对二氧化硅、氮化硅和多晶硅薄膜的热扩散率进行研究。 本文首先简要介绍了热传导的概念、微尺度判据和微尺度对宏观传热理论的挑战;接着总结了两步模型、声子辐射传输模型、声子散射模型和热波模型等微观传热模型;然后介绍簿膜热扩散率的测
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