太阳能发电是当前绿色新能源的重要组成部分，铜铟镓硒化合物太阳能电池以其转换效率高、长期稳定性好、抗辐射能力强等优点成为光伏界的研究热点。在实验室成果向市场转化的过程中，实验室中分散工艺、手工制备的小面积组件与生产中连续工艺、自动控制的大面积组件其技术要求相差甚远。国外在共蒸发薄膜制备中，通过精确控制蒸发源蒸发速率实现了大面积组件的批量生产。但采用蒸发速率实时测控技术，使得整个系统成本提高，控制复杂。因此，设计研究低成本的共蒸发控制系统，实现高质量大面积组件生产，是太阳能电池行业一直关注的重要问题。 本文以实验室共蒸发制备铜铟镓硒薄膜设备为背景，以实践中薄膜制备工艺和控制要求为基础，从共蒸发制备的低成本控制出发，使用“三步法”工艺，设计以温度这个简单的测控元素为控制因子，建立以薄膜质量为控制目标的DCS(Distributed Control system)控制系统模型。通过对整个系统控制原理和总体结构的分析设计，以可编程控制技术和工控机为手段，重点对硬件实现、软件设计两方面进行了论述，对控制功能的实现进行了模拟调试，对系统组态进行了仿真，最后提出了可靠性设计的有关要求，为实际安装使用奠定了基础。 系统中软硬件结构及组态监控是在机上模拟测试的，在实际设备安装使用中还需进行检测调试。另外在系统设计时，预留有非常大的扩展余地，可根据用户的特殊需求对控制功能和控制工艺进行扩展和调整。