随着科学的发展,激光微加工以其独有的特点,已经在当今微加工领域起到了不可替代的作用。本文针对激光微加工控制系统的构建开展了深入的研究,完成了整个控制系统软件程序和硬件控制电路的设计与调试;并且通过实际的应用,不断地对系统进行优化,利用该系统实现了对多种二维图形和三维结构的设计与制备。利用激光对材料进行加工,实际上就是实现激光与材料按照一定的规律相对运动。在本设计中,首先设计数据转换软件对要加工的二维或三维的图形进行数据转换,使系统可以直接调用加工数据文件,将相应的数字信号转换为模拟信号,通过控制转镜偏转,使激光的焦点按照加工要求在静止的材料表面和内部上进行加工,当加工完一层之后,通过压电平台使材料上升或下降进行纵深方向的加工,这样就实现了对材料的三维加工。结合每次的加工结果对系统进行优化,同时,提出采用位移电控平台(精度微米级)结合适用于小范围加工的转镜,进行大范围的加工的构想并进行了初步的研究。