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随着光学显微仪器在三维立体成像领域的不断发展,共焦显微镜以其独特的层析能力,成为表面工程科学与生物工程领域中最有活力、最重要的分析仪器之一。为了实现三维高分辨率测量,共焦显微技术正向着高光子效率、宽光谱、短波长的趋势发展。增大光学系统数值孔径是提高光子效率的重要途径,但传统共焦显微技术存在透镜数值孔径小于1的理论极限;同时,由于透镜系统光学特性和材料特性的影响,传统共焦显微系统存在宽光谱成像色差校正困难、难以适用于紫外、深紫外等短波成像的问题。课题椭球反射式共焦成像像差及三维传递函数理论研究