EACVD掺硼金刚石膜制备及加工性研究

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金刚石具有一系列独特的力学、热学、声学、电学、光学和化学性能,在高科技领域具有广阔的应用前景。未掺杂CVD金刚石膜是高度绝缘的,不能采用如电火花等加工导电聚晶金刚石(PCD)的方法和设备对其进行加工。为改善EACVD金刚石膜的可加工性,实现金刚石厚膜的电火花加工,对金刚石膜进行了掺硼。本文所做的工作主要包括以下几个方面: 1.研究了掺硼金刚石膜设备及其原理,研究了机械系统,设计了电气系统和控制系统,系统运行表明该设备在控制系统监控下沉积出高质量大面积的掺硼金刚石膜。
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