低温共烧(LTCC)ZMT介质陶瓷材料及滤波器的设计与研究

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近年来由于通信产品得到了广泛的关注和应用,微波器件已经逐渐的向小型化方面发展,这就要求微波器件在减小体积的同时又要保持良好的性能。LTCC技术正是在这一背景条件下得到了迅猛的发展和完善。通过LTCC的生产工艺,可以把微波器件中的电容,电感等元件直接植入到具有三维结构的陶瓷模块中,从而大大减小了器件的体积。同时,又能使元件高度的集成化,从而满足了电子器件微型化的需求由于ZMT(Zn0.7Mg0.3TiO3)介质陶瓷材料具有非常优异的微波介电性能,所以近年来得到了广泛的研究。本文首先采用传统的固相反应法合成了ZMT陶瓷材料,具体的分析了预烧温度,烧结温度时间和原料活性的大小对其微波介电性能的影响。接着通过添加低熔点的氧化物Bi2O3,V2O5,H3BO3,Sb2O3,PbO作为助烧剂降低了陶瓷的烧结温度。通过比较它们的实验结果发现,当选用H3BO3作为助烧剂时,ZMT陶瓷材料获得了最佳的微波介电性能。其对应的工艺条件为:H3BO3的添加量1.0wt%,预烧温度850C,烧结温度950C,烧结时间3h,微波介电性能为:ρ=4.59g/cm3,εr=20.0,Q×f=4.38×104GHz,τf=-62ppm/℃左右。接着为了调节ZMT陶瓷材料的谐振频率温度系数τf至零附近,本文在ZMT-1.0wt%H3BO3陶瓷材料的基础上添加了具有正谐振频率温度系数τf的TiO2。通过工艺的摸索得出,当烧结温度为950C,烧结时间3h时,TiO2的最佳添加量为15.0wt%。其对应的微波介电性能为:ρ=4.35g/cm3,εr=22,Q×f=2.75×104GHz。最后本文以上述的ZMT复合陶瓷材料为基板材料,仿真设计了一种LTCC带通滤波器。其中心频点为2GHz,带内插损S21≤2dB,回波损耗S11≥15dB,带外100M处的抑制大于20dB,很好的满足了项目设计指标。
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