近年来,工业CT以其优异的三维成像和内外部结构测量能力,正在从传统的无损检测领域,拓展到几何量测量领域。然而,与传统的坐标测量机相比,工业CT结构原理复杂,目前尚未有一致认可的方法对其几何量测量误差进行校准。针对这一问题,本文作者研制了用于校准工业CT几何量测量误差的若干种标准器。对于工业CT的探测误差,研制了一种球标准器,该标准器主体部分为一种氮化硅陶瓷球,直径分别为4mm、8mm、15mm、25mm、50mm。使用F25坐标测量机和Talyrond 73圆度仪分别对球的直径、圆度进行了校准。对于工业CT的长度测量误差,通过将红宝石球以一定的布局固定在碳纤维棒或碳纤维板上,研制出双球棒、小森林球、球板等标准器。使用F25坐标测量机对这些标准器进行了校准。将校准后的球标准器应用于工业CT探测误差的校准实验,对测量过程中的仪器参数设置、采样策略等因素对探测误差的影响进行了实验研究,实验结果表明:工业CT的探测误差受仪器的参数设置、球的尺寸、采样策略等影响很大。本文建议采用上半球取200点的策略对球进行测量分析,同时,为使得校准结果更具参考价值,需要同时对校准用到的标准器尺寸、材料,以及工业CT的参数设置进行声明。根据校准所用标准器的不同,工业CT的长度测量误差分为球心距误差和端面距误差。使用研制的长度测量误差标准器分别对工业CT的球心距误差和端面距误差进行校准实验。实验结果表明:工业CT的球心距误差要远小于端面距误差。球心距误差不受标准器材料的影响,因此能更直观地表征仪器本身的测量准确度;端面距误差受材料影响很大,更接近于实际测量的情况。这两种误差的适用条件不同,需根据不同的场合区别使用。