纳米技术是一门多学科交叉的、基础研究与应用探索相结合的学科，其最终的目标是在纳米尺度上直接由原子、分子的排布制造具有特定功能的产品。纳米加工是纳米技术的核心，也是实现下一代纳米器件的关键。自八十年代以来，以扫描隧道显微镜为代表的扫描探针显微镜得到迅速发展，在将其作为观测仪器的同时，研究者也发现了它对样品表面的加工能力，扫描探针加工技术也就在此基础上应运产生。由于扫描探针加工技术能够有效实现单原子、分子操纵和纳米级图形结构的刻蚀，因而得到了广泛关注。基于AFM电场诱导氧化机理的研究已发展了十多年，但在实验和理论方面还不完善。本课题对AFM电场诱导氧化加工中探针与样品之间产生的场发射电流进行了理论分析和实验研究，通过实验分析了加工参数对氧化点、氧化线加工过程中检测出的微弱电流的影响。以下是论文的主要研究工作：分析了AFM电场诱导氧化的基本理论以及Si表面的电场氧化机理；对Multimode SPM进行内部结构分析，构建出一套纳米加工系统，完成点、线结构的加工，同时监测针尖与样品之间产生的微弱电流；研究了AFM电场加工过程中出现的隧道效应和场发射效应，为加工过程中微弱电流的检测提供了理论依据；通过实验分析了加工参数（主要包括偏置电压和加工脉冲时间）对点的加工过程中微弱电流检测的影响；在改变电压施加方式情况下，对点、线加工过程中产生的电流结果进行了细致分析；在改变电压施加方式情况下，比较点、线加工过程中所测得的电流最大值与偏压的关系；对加工结果提出评价方法并进行误差分析。