纳米电子束曝光机图形数据传输研究

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本文首先介绍了电子束曝光技术以及我国电子束曝光技术的发展状况,然后较为详细的介绍了主要数据处理的三种文件的格式组成、特点以及语法,这三种文件为:DXF文件、DY51文件、CIF文件.本文的主要部分介绍了程序中的格式转换、数据的保存和显示、数据的传输.最后部分主要讲述了图形数据的检测.适当格式的图形数据是电子束曝光机能够正常工作的前提条件.而目前世界制版行业中并没有一个统一标准的图形数据格式.因此,为了曝光的方便,必须把通用的曝光数据格式转换成适用于本曝光机的图形数据格式.在本系统中,DY51格式为适用的数据格式.本软件把DXF文件、CIF文件、中间格式文件(编辑软件生成的ASCⅡ源文件)都转换成了这种格式的文件.转换软件以Visual C++6.0为编程语言,在Windows 2000,XP下,都能正常运行.三种格式的转换基本类似,DXF文件、CIF文件转换复杂一些,涉及了主场的分割、子场的分割,两种文件的图形分割都是基于计算机图形学中的窗口裁剪算法,以场边界作为窗口对图形施行裁剪.程序的另一部分功能主要是与DSP的通讯.PC机与DSP的通讯是由两个不同地址的FIFO来完成的.PC机把转换后的数据或DY51格式源文件组织成帧,通过USB接口,送往一个FIFO;PC机从FIFO取数时,通过USB接口,从另一个FIFO读取.PC机安装了虚拟串口驱动程序,把DSP控制的图形发生器作为一个标准外设,利用USB通讯协议进行数据传输和检测.通讯数据按帧传输,帧格式是一种包括了条数、帧号和每帧检查和的自定义格式.本软件采用ADO(ActiveX Data Object)技术建立数据库的连接,转换后的数据存入Access库中,以便于查询和显示.ADO是Microsoft开发的数据库应用程序新接口,是建立在OLE DB(Object Link Embed Data Base)之上的高层数据库访问技术,非常简单易用.本文中对ADO的接口、使用方法都作了介绍.程序的界面以Visual C++6.0为开发工具,是基于对话框的应用程序,功能模块以按钮描述,界面友好,易于操作.本软件编制了各种类型数据正确性测试程序,以验证数据处理的最终正确性.
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