喷墨打印技术制备气敏薄膜研究

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该文主要研究采用喷墨打印技术制备金属氧化物气敏薄膜元件.与现今常用的物理气相沉积法(PVD)、化学气相沉积法(CVD)等薄膜制备技术相比,喷墨打印技术在控制薄膜厚度、掺杂物质种类和浓度以及多种材料薄膜集成化方面有着明显的优势.气敏材料墨水的配制是利用喷墨打印技术制备薄膜的关键.墨水的表面张力、粘度和干燥速度等物理参量,决定了最终能否成功喷射成膜以及成膜的性能好坏.该文系统研究了Au、Pd、Ag、ZrO<,2>、ZnO、SnO<,2>等多种金属、金属氧化物材料墨水的制备工艺,探讨其不同溶剂体系、多种添加剂以及PH值等对墨水性能的影响,确定了可实现喷射成膜的墨水基本物理参数,要求粘度小于20mPa·S,表面张力在20~40mN·m<'-1>之间,并选定了以二水醋酸锌Zn(CH<,3>COO)·2H<,2>O和二水氯化亚锡(SnCl<,2>·2H<,2>O)为等原材料,采用胶体化学方法成功配制了满足喷射要求的ZnO、SnO<,2>气敏材料墨水以及Au、Pd、Ag、ZrO<,2>等掺杂墨水.该文还研究了不同的后期烧结处理工艺以及不同厚度对薄膜电阻率的影响. 该文还利用人工神经网络方法,提出了制作智能电子鼻的实验构想,并采用三个气敏元件组成一个简单的传感器阵列,对乙醇、丙酮和氨气三种气体做了一次简单的分类识别检测.
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