粘滑式惯性压电精密驱动器设计分析与试验研究

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随着现代科学技术的迅猛发展,微纳加工、微纳操作、精密光学、生物医学工程、航空航天等诸多前沿高科技领域发生了日新月异的变化。这些领域不断进步的同时,对其核心支撑技术——超精密驱动技术提出了更高更新的要求,如超高精度、大行程、强承载能力和轻量化等。世界各国科技工作者积极致力于新型精密驱动器件的设计与研制中,以满足前沿领域对高性能能精密驱动器件的需求。目前,如雨后春笋般出现的各类新型精密驱动器,极大地推动了精密驱动技术的发展,其中基于粘滑惯性驱动原理的压电驱动器由于结构紧凑、行程大、运动精度高、性能稳定可
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