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Al_2O_3/AlN异种陶瓷梯度玻璃连接及性能的研究
【摘 要】
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陶瓷的连接,尤其是异种陶瓷的连接,由于其在陶瓷片连接方面的独特优势,使得陶瓷的制作工艺成本低廉,在MEMS传感器、微波器件、成像器件等陶瓷封装器件中得到了广泛的应用。但是由于异种陶瓷之间的热膨胀系数存在一定的差异,在连接过程中,接头应力较大,往往会导致连接失败。所以本文在充分了解陶瓷连接方法及应用的基础上,研究了使用梯度硼硅酸盐玻璃钎料连接Al_2O_3和AlN异种陶瓷,并对Al_2O_3/AlN
【出 处】
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南京航空航天大学
【发表日期】
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2021年07期
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