近几年随着柔性电子器件的快速发展,柔性温度传感器的研究逐渐深入,柔性温度传感器具有易形变、柔软等特点,广泛应用于运动、医疗健康监测、消防、航空航天、通信等不同领域。基于此,本课题分别以有机材料石墨烯和金属材料铂为不同的敏感材料,采用不同的工艺技术,分别制备了不同结构尺寸的柔性温度传感器,对其线性度和电阻温度系数、稳定性、重复性和迟滞、分辨率、响应时间、其他干扰等性能指标进行研究测试并优化,主要研究内容如下:1.石墨烯柔性温度传感器的研究与制备:以石墨烯导电浆料为敏感材料,以聚酰亚胺为柔性基底,采用丝网印刷工艺技术,制备了不同丝网印刷目数和不同设计图形的温敏薄膜,通过表征与测试分析显示,本课题所制备的石墨烯柔性温度传感器具有较高的稳定性,重复性和迟滞也随着循环测试次数的增加逐渐趋于稳定,线性度为0.971,分辨率至少可达0.5℃,且不受弯曲形变干扰的影响,但其受湿度影响,做温度传感器使用需要进行封装保护。2.金属铂柔性温度传感器的制备研究:以金属铂为敏感材料,同样以聚酰亚胺为柔性基底,结合光刻和磁控溅射工艺制备具有不同图形(圆螺旋、方螺旋和蛇形)和不同线宽的金属铂柔性温度传感器并与以陶瓷为基底的金属铂温度传感器进行对比。根据测试结果对传感器结构进行进一步优化设计,减小了传感器的敏感单元大小和图形线宽,并增加敏感薄膜厚度,最终制备出的金属铂柔性温度传感器与以陶瓷基底的金属铂温度传感器相比,同样具有优异的线性度和电阻温度系数,其线性度可达0.9997,分辨至少可达0.5℃,同时具有较高的稳定性和重复性,迟滞仅为0.28%,可快速响应,响应时间仅有514 ms,并具备一定的抗弯折能力。