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高速光电子器件例如电光强度调制器、电光相位调制器、光电探测器广泛应用于光通信链路以及微波光子系统当中,它们的频域特性是衡量系统工作速率与带宽的重要指标,所以对器件频率响应参数的测量就尤为关键。现有测量方法和测量平台大多只能对单个器件或者单个频响参数进行测量,无法解决光-电器件和电-光器件频响相互影响的问题。而且随着光子集成技术的发展,电光调制器、光电探测器都集成在一个芯片上,如何在一个系统中实现对多个器件频响参数的自校准测量一直都是行业内急需解决的问题之一。本研究将高速光电子器件频响测量理论和虚拟仪器技术相结合,设计开发了一个高速光电子器件频率响应测量系统。该测量系统能够实现对基于马赫-曾德尔结构的电光强度调制器(MZM)的调制系数、半波电压和啁啾系数,电光相位调制器的调制系数和半波电压以及光电探测器的响应度,多个器件频率响应参数的自动化、自校准测量。主要的研究内容有以下几个方面:1、对移频外差基本原理和测量方法进行了综述,并对虚拟仪器开发平台进行了介绍;2、基于美国国家仪器公司(National Instrument,NI)的LabVIEW软件系统,对高速光电子器件频响测量系统进行了控制设计和硬件实现,实现了移频外差干涉模块中外部信号发生器、频谱仪、直流源的驱动控制,实现了马赫-曾德尔(MZ)移频外差干涉仪模块的硬件封装和可测性验证;3、按照待测器件类别对测量场景进行了软件设计,实现了电光强度调制器、电光相位调制器和光电探测器的软件界面和测量流程控制,并对各模块的工作时序、控制驱动和数据处理进行了软件设计和统调实现;4、完成自动测量系统的软硬件联合调测和实验验证,实现了20GHz范围内电光相位调制器的调制系数和半波电压,电光强度调制器的调制系数、半波电压和啁啾系数以及光电探测器响应度的测量,测量结果与传统方法一致。而且本测量系统解决了直接对电光相位调制器进行电域测量的难题。