论文部分内容阅读
对于工业中应用的薄膜,其厚度是一个非常重要的参数,它直接关系到薄膜能否正常工作,同时关系到企业的成本以及企业的竞争力。因此,薄膜厚度的测量也就成了一个热门的科研课题。相应地,产生了许多测量薄膜厚度的方法,例如机械法、射线法、电容法、光学法等等。在众多方法中,光学法和电容法是非接触测量的主要方法,相对于其它类方法具有快速、准确、环保和不损伤薄膜等优点。本课题利用上述两种方法分别设计出了一款结构简单而又具有高精度的传感器,其中在传感器制作方面有多处创新,并且通过标定实验、测量实验、稳定性实验等