超声压印成形技术具有成形精度高、工艺过程易控制、生产效率高等特点,是一种尚未成熟但极具应用前景的聚合物微结构成形技术,能够提高聚合物MEMS微器件在动载、恶劣环境下运行的安全性和可靠性。由于超声压印的产热机理尚不明确,无法确定工艺参数对超声能量控制的影响,难以满足微纳尺度下成形的高精度要求,因此研究超声压印产热机理意义重大。本文通过分析超声压印过程,在原有的摩擦-黏弹综合产热机理上,得到工艺参数与产热功率之间的定量关系;利用MATLAB计算了摩擦-黏弹综合产热机理的产热过程,获得温度场;开展超声压印正交实验,根据压印压力去先验证上述产热过程,得到相对优的工艺参数组合,并将最小压印尺寸从120μm提高到50μm。本文开展超声压印产热机理研究,系统地阐述各个工艺参数对产热功率的影响,为提高成形精度提供理论基础,可以有效地指导工艺参数选择,对实现大规模聚合物超声压印生产,推进安全生产信息化具有重要意义。