金属性过渡金属硫族化合物（MTMDCs）因其优异性能而获得广泛关注。作为金属性过渡金属硫族化合物（MTMDCs）的一员,二硫化钽（TaS2）是一种典型的电荷密度波（CDW）材料,在低温诱导下,发生晶格畸变,可经历从金属态到绝缘态的转变。这种具有新奇物理效应的TaS2二维原子晶体为研究凝聚态物理新现象与规律提供了独特的材料。本论文利用改进的CVD方法成功制备1T-TaS2二维原子晶体,并对热力学和动力学过程进行了详细的探究,在此基础上制备不同厚度的1T-TaS2纳米片进行CDW相变研究。主要研究成果和创新点如下:本文通过改进化学气相沉积法进料方式,提出二维TMDCs层数可控生长的新思路。在反应器外部,分别气化两种前驱体,实现前驱体定量、间歇式供应。通过优化反应条件,在云母基底上逐层生长1T-TaS2二维晶体,成功制备了横向尺寸在10μm左右,从单层到数百层厚度的晶体。证实了本实验方法合成的二维晶体材料可以实现层数可控。在此基础上,利用Raman,AFM,HRTEM,XPS,XRD等测试手段分析了1T-TaS2二维晶体的基本物性,表征了形貌信息和内部结构,证实了材料的高质量和高结晶性。采用低温共聚焦拉曼系统,测量温度从78 K到260 K的升温过程中不同温度下的拉曼特征峰,确定了CDW相变点在140-160 K之间。通过光刻,电子束蒸发电极等微加工工艺制备电极,与样品连接测量材料随温度变化的电阻。结果表明,升温过程中测得的相变温度在150-160 K之间,与拉曼测试结果吻合。此外还测试了降温过程中的CDW相变温度高于230 K,呈现与厚度相关的相变温度特征。