【摘 要】
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多层膜的研究是近30年开展起来的,它是表面工程、薄膜技术深入发展的结果。多层膜是由两种或几种材料交替沉积而形成的一种人造层状微结构。它可以由金属/金属,金属/半导体,
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多层膜的研究是近30年开展起来的,它是表面工程、薄膜技术深入发展的结果。多层膜是由两种或几种材料交替沉积而形成的一种人造层状微结构。它可以由金属/金属,金属/半导体,金属/氧化物,半导体/氧化物或其它材料堆垛形成。目前,人造多层膜已成为当前薄膜科学、表面科学领域的一个活跃的分支学科。 本论文简要阐述了多层膜的发展现状、结构特点以及它在光伏电池材料中的应用。在此基础上进行了下面两方面的实验研究工作: 本文在多层膜方面的研究:采用真空蒸发沉积和自然氧化、热氧化法制备Al/Al2O3、Cr/Cr2O3及Si/SiO2多层膜,用称重法检测薄膜厚度,并在常低温情况下测试其U-I特性曲线,发现具有类负阻效应;采用扫描电子显微镜观察样品截面,发现多层膜厚度和秤重法计算结果基本相符;扫描隧道显微镜与原子力显微镜观察表明薄膜表面存在着岛状结构;透射电子显微镜分析说明所蒸镀的硅膜不完全是非晶态,还具有单晶、多晶结构。 本论文在小型太阳能光伏系统方面的研究:了解小型光伏系统的构成;自行设计测试小型太阳能电池板U-I特性曲线的装置;测试不同光强情况下的非晶硅、多晶硅电池板的U-I特性曲线;用扫描电镜观察非晶硅样品横截面的形貌和能谱分析成分。
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