【摘 要】
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近年来,由于光子嫩肤技术的快速发展,光子嫩肤仪的核心元件滤光片的研制显得尤为重要。本文旨在研制一种在光子嫩肤仪中用于产生标准谱段的滤光片。本文采用石英作为基底,选
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近年来,由于光子嫩肤技术的快速发展,光子嫩肤仪的核心元件滤光片的研制显得尤为重要。本文旨在研制一种在光子嫩肤仪中用于产生标准谱段的滤光片。本文采用石英作为基底,选择TiO2和SiO2作为高低折射率材料,并用needle优化方法压缩通带波纹,通过真空镀膜和离子辅助的技术,研制了200nm-550(630)nm平均透过率低于0.3%：570(650)nm-1200nm平均透过率高于95%的光子嫩肤标准谱段的滤光片。在制备过程中,解决了TiO2的吸收问题和薄膜厚度控制的问题。在前期实验中,分析了波长漂移产生的原因并提出可行方法,经过多次实验,得到了满足光谱要求的滤光片,通过水中浸泡和胶带撕拉等测试,可知该薄膜牢固度良好。
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