随着科学技术的进步,面向制造业的设备和仪器正在向着结构微型化、电路集成化发展,在加工和日常使用过程中仪器将不可避免地受到污染,这将影响仪器的准确性。传统的清洗技术往往存在清洗不够充分,清洗过程中会破坏基底等诸多缺点。目前利用超临界二氧化碳（Super Critical Carbon Dioxide,S-CO₂）来清洗基底表面的金属颗粒和有机物颗粒的绿色清洗技术正受到越来越多的关注。因此,有必要研究超临界二氧化碳的特性和超临界二氧化碳对有机污染物和金属颗粒污染物的影响。由于超临界二氧化碳对金属颗粒和有机物颗粒的作用机理并不一致,本文采用两种不同的方法对问题进行分析:清除有机物颗粒时,考虑利用超临界二氧化碳对有机物的溶解作用来清除有机物颗粒,使用Materials Studio分子动力学软件模拟不同温度和压力下超临界二氧化碳的物理性质,然后模拟超临界二氧化碳中有机物的溶解,分析超临界二氧化碳对有机物的清除机理,进一步加深对超临界二氧化碳清除原理的认识,前期清除有机物的速率与环境压力以及有机物的分子量有关,最后有机物均能均匀扩散到二氧化碳气氛中,清除机理与氢键作用以及静电作用有关,最终基底表面的有机污染物被二氧化碳取代;清除金属颗粒时,考虑通过超临界二氧化碳对颗粒的冲击来带走附着在基底上的颗粒,首先分析金属颗粒在基底上附着时受到的粘附力,再利用COMSOL Multiphysic软件,模拟超临界二氧化碳的物性,对流体域的超临界二氧化碳采用连续介质模型,对金属颗粒表面采取滑移的边界条件,分析一定直径铜颗粒在不同条件下的驱动力情况,驱动力的大小与压力、温度以及流速有密切关系,将得出的驱动力与计算得出的粘附力进行对比,选择较优的清洗条件。以上研究对超临界二氧化碳绿色清洗技术在实际工程应用中的发展具有积极意义。