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半导体发光材料氧化锌作为最具有潜力的新型发光材料，已经在发光二极管，压电二极管，气体传感器，室温紫外激光器等各个光电领域得到成功应用。对氧化锌进行掺杂可以在晶体范畴内改变氧化锌的结构，进而调节其光电性能，因此稀土掺杂氧化锌纳米结构的制备和性能研究变得极其具有吸引力。ZnO稳定的化学物理结构（抗氧化，耐高温，耐潮）非常适合作为一种掺杂的基质材料。而且稀土元素特殊的壳层结构，三价稀土离子4f组态之间的电子跃迁又存在特征锐谱线，成为发光材料的合适选择。所以ZnO薄膜材料中掺入稀土离子不仅能丰富发光的颜色，