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氧化锌是一种重要的宽禁带隙（3.3 eV）半导体材料，它的激子束缚能高达60 meV。因此，氧化锌材料在紫外光电器件方面有巨大的应用潜力。目前，有关氧化锌研究部分集中在氧化锌的紫外激光发射和可见发光机制方面。尽管研究小组提出了很多不同的可见发光机制，但尚没有统一的认识。当然,实现紫外激光发射是人们希望达到的目标。针对这两方面问题我们做了如下研究：利用低压金属有机化学气相沉积（LP-MOCVD） 工艺，首先在二氧化硅衬底上生长纳米ZnS薄膜，然后，在不同温度下进行热氧化处理。X射线衍射（XRD）和拉曼实验结果表明硫化锌（ZnS）薄膜在高于700 oC热氧化处理后，硫化锌（ZnS）全部转化为氧化锌（ZnO），且是六角纤锌矿的多晶薄膜。光致发光（PL）结果表明，样品在900 oC退火时紫外（380 nm）发光最强，可见发射最弱。我们详细地讨论了退火温度对紫外光发射的影响。提出紫外伴随低能带尾发光是由束缚激子发射与自由激子发射叠加的缘故。利用飞秒激光器作为光泵浦激发光源，研究了氧化锌薄膜的光泵浦受激发射，当条形光斑辐照薄膜样品时，将沿着光斑条由氧化锌纳米晶面自然地形成光学谐振腔，由于平面介质波导结构限制光散射，所以成功地观测到二氧化硅衬底上的纳米氧化锌（ZnO）薄膜的紫外受激发射。在可见发光机制探讨中，为了证明氧空位或缺陷是分布在纳米晶表面，我们提出氧化锌中掺杂锰（ZnO：Mn），研究了ZnO：Mn薄膜的光致发光（PL）。结合发光光谱、X射线光电子能谱（XPS）和电子顺磁共振（EPR）结果，提出了核-壳氧化锌（ZnO）结构。在本论文中提出可见发光中心是Vo**和[Vo*，electron]或[Vo**，two electrons]复合体。纳米氧化锌（ZnO）表面的钝化实际上是在氧化锌（ZnO）的核和表面之间形成了大的势垒阻止表面缺陷捕获光生电子或光生空穴形成发光中心Vo**和[Vo*，electron]或[Vo**，two electrons]复合体，同时，提出了一种新的可见发光机制，很好地解释了实验中观察到的现象。