该论文的主要工作包括以下三方面内容:1.综述微系统技术,重点论述微系统技术中的LIGA技术和用LIGA技术制作微型加速度传感器的工艺流程.LIGA技术在微系统技术中占重要位置,它的工艺过程是由深层照射、显影、电铸、成模、模铸五个步骤组成.2.从理论上研究微型加速度传感器.包括阐明电容式微型加速度传感器的工作原理,对重要公式进行详细的理论推导;研究并设计出加速度传感器配套的控制电路.此电路的核心功能是能够实现电容变化量向电压模拟量的转换.传感器的工作原理为:当活动质量块偏离平衡位置时,传感器的电容量发生变化,通过电容电压转换电路,将电容的变化量转变为电压信号输出,此输出电压反馈到施力电极上,产生静电力,用以平衡惯性力,使质量块平衡在某一新的平衡位置上.其中,输出电压信号与输入加速度成正比,通过测量输出电压得到加速度的大小.该论文还推导出了电容变化量与位移变化量的关系式,电容变化量与输出电压关系式等这些重要公式.3.设计一套实验模型,用此实验模型模拟微型加速度传感器的工作情况.最后用VB6.0设计一个仿真程序,用来研究电容式微型加速度传感器的工作情况.