InSb薄膜式磁敏电阻灵敏度检测系统的设计

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传感器技术、通信技术和计算机技术成为现代信息技术的三大支柱。传感器是采集信息的器件,是系统感知、获取与检测信息的窗口。InSb磁敏电阻是传感器家族的一个重要的分支,它主要是通过检测磁场的变化来检测位移、角度、电流等物理量。InSb磁敏电阻的灵敏度是其阻值随着磁场变化的大小,这是它的重要技术指标。 本文首先介绍了InSb磁阻效应的基本原理,在此基础上分析了如何提高InSb磁敏电阻的灵敏度,并且对现有的测量InSb磁敏电阻灵敏度的方法作了详细的说明。 现有的InSb磁敏电阻灵敏度的测量方法都是手工测量为主,要么只能测量强磁场变化时灵敏度,要么存在测量不准确、繁琐、测量时间长等缺点。本文的重点是提出一种新的测量方法,通过这种方法可以测量弱磁场变化时InSb磁敏电阻灵敏度,并且基于这种测量方法设计一个自动测量系统,实现InSb磁敏电阻灵敏度精密、快速的检测。本文对此测量系统的硬件组成和软件设计进行了分析,对于系统测试中的数据采集、计算、系统接口和数据存储等问题提出了解决方案。同时也根据需要设计了方便的用户界面。 本文最后介绍了测量系统的调试,分析自动测量结果与传统手工方法的比较,并且对测量系统的准确度、稳定性等进行了测试。测试实验结果表明:利用本文所述方法所测的灵敏度S与传统方法所测量的灵敏度K之间近似为线性关系S≈1.2409K,所以在InSb磁敏电阻产品检测中可以用该自动测量系统取代传统的手工方法;测量系统多次测量的标准偏差小于2.50E-02,这也满足生产的实际需求。
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