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薄膜技术属于边缘学科,它的发展涉及几乎所有前沿学科,其应用与推广又渗透到各个学科及应用领域。本文以无机盐SnCl2·H2O和SbCl3为原料,采用溶胶-凝胶提拉浸渍法制备出了具有良好光学和电学性能的掺锑二氧化锡(ATO)薄膜。用X射线衍射(XRD)、原子力显微镜(AFM)和光学显微镜对ATO薄膜的晶相和表面形貌进行了观察和分析。用紫外-可见光分光光度计对薄膜的透光率作了测试,讨论了其影响因素。阐明在室温下玻璃基板表面溶胶-凝胶法制备ATO薄膜的原理基础和实验流程。