在IC(IntegratedCircuit)制造业，随着IC芯片体积的不断减小，引线密度的不断提高，对IC加工设备的要求也不断提高。无论是在IC的封装还是测试设备中，都要求实现自动化生产。这就要求硅片实现自动传输，而机械手技术是实现硅片自动传输的关键技术。传统的接触式硅片传输机械手能够满足一定的需要，但随着IC洁净度水平要求越来越高，传统的接触式机械手给硅片带来的污染不容忽视。因此我们在原来接触式机械手的基础上进行改进，建立一种新型的非接触式机械手。本文详细论证了在传统机械手和新型机械手中的重要技术，并运用虚拟样机技术进行仿真。 本文中机械手采用的是同步带传动，同步带的柔性在传动的过程中不可避免的带来振动，为了抑制振动使机械手运动平稳。可以通过轨迹优化、机械结构设计和控制算法等方面来抑制同步带传动带来振动。本文中主要对机械设计和控制算法两方面来进行了分析如何抑制振动。同是建立了柔性同步带传动的机械手的数学模型。 本文的研究中使用虚拟样机技术来分析机械手的机械结构以及控制问题。Pro/E、ANSYS、和MATLAB是虚拟样机技术中常用的几个重要分析软件。首先，在Pro/E中建立仿真对象的三维实体模型。其次，要计算复杂的几何模型，从Pro/E中导入ANSYS等专业有限元分析软件中进行有限元模态分析。再次，通过建立的数学模型，在MATLAB软件中进行PID等的控制算法仿真。通过对比不同参数的仿真结果和选择最优的控制参数。整个模型的分析过程大概包括以下几步： 1.在Pro/E中建立三维几何模型 2.在ANSYS中对模型进行有限元分析 3.在MATLAB软件中对模型进行控制算法仿真 最后，通过比较得到最优的控制算法的结果。