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本文主要工作就是针对这种具有柔顺性能的金属材料及复合材料探头,研制位移传感器的信号处理系统,系统可分为测量电路与上位机标定系统两大部分。本文主要内容如下：1.分析探头几何尺寸对传感器灵敏度的影响采用MATLAB软件仿真分析线圈尺寸(包括线圈外径、内径及圈数)对传感器灵敏度的影响。得出以下结论：(1)线圈圈数增加,灵敏度提高；(2)线圈外径增加,灵敏度提高；(3)线圈内径减小,灵敏度提高。2.柔型电涡流传感器的电路设计与仿真分析提出新型柔型电涡流位移传感器检测系统的总体设计方案,电路以模块化的思想进行设计,将电路共分为6个模块,分别是：方波生成模块、放大滤波模块、信号提取模块、A/D转换模块、数据显示模块、通信模块。采用Multisim软件对1中提到的主要电路模块(包括方波生成模块、放大滤波模块、信号提取模块)进行仿真,并对各电路模块进行可行性分析,之后采用Altium Designer Release10软件对电路原理图进行设计。3.单片机程序设计电路检测系统引入MSP430F149单片机作为控制核心,并完成A/D转换模块、数据显示模块和通信模块的程序设计。4. LabVIEW上位机的程序设计为了方便柔型电涡流传感器的标定工作,采用LabVIEW软件开发一种具有标定功能的上位机系统。软件分为采集数据、读取数据及拟合曲线三个子模块。5.柔型电涡流传感器系统的实验构建微位移平台,对金属钢板进行测试,分析处理采集到的实验数据,得出拟合方程。截止目前得到传感器性能指标如下：测量范围O-lmm；在0～0.1mm范围内,灵敏度为0.246V/0.1mm；在0.1mm～4mm范围内,灵敏度为0.062V/0.1mm；在0.6mm～1mm范围内,灵敏度为0.013V/0.1mm。分辨力：0.05mm。