本论文所研究的课题来源于国家自然科学基金,重大国际合作项目“纳米测控环境控制机理和关键技术研究”。 环境保障一直是测控领域中急待解决的问题,在高精度的纳米测控中环境保障更成为影响测控结果的关键因素。高精度的纳米测量是建立在对环境的严格控制的基础上的,真正需要高精密测量环境的只是测量仪器本身,所以研究小型的超高精密的恒温恒湿洁净抗振的纳米测量环境具有重要的意义。 由于测量仪器在测试腔内工作时会产生热量,造成温度的不均匀,从而影响了测量结果。除了对测试腔的恒温恒湿气流进行有效的组织以尽快达到温度的动态平衡外,还可以将测试腔内的局部热源进行隔离,单独进行热补偿。 数值模拟恒温恒湿测试腔内气流组织,设计合理箱体结构,使测试腔内以最快的速度达到温度场的均匀,以满足温度精度要求及均匀性指标,是本课题的主要目的。