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在超精密加工、微电子等现代高技术产业领域,对机床导轨位移和角度的精密测量要求越来越高。传统的多自由度测量仪器如激光干涉仪等,由于体积大、系统复杂、造价昂贵,很难用于工业领域的高精度在线测量。因此研究一种结构简单、体积小巧、精度高、造价低的多自由度误差同步测量系统非常必要,围绕该系统,本文主要进行了以下研究:首先,论述了国内外多自由度测量技术的发展状况,比较了各种测量方法的优缺点。其次,提出了一种新颖的五自由度(X、Z方向直线度、偏摆角、俯仰角、滚转角)同时测量的系统,详细分析了实现位移和