本研究采用工件切向振动的方式将超声振动引入微磨料水射流抛光硬脆材料,提高材料的去除率和表面质量。超声振动可以增强材料的塑性剪切去除能力,降低抛光表面粗糙度,改善由于磨粒冲蚀而产生的纹理。本文研制了超声振动工作台和超声振动辅助流化磨料供给装置,模拟研究了超声振动辅助磨料水射流抛光加工中振动工件表面的射流冲击流场,对超声振动辅助磨料粒子冲蚀行为进行了运动学分析,研究了材料去除机理,建立了单颗磨料粒子材料去除体积模型,采用显式动力学有限元方法模拟研究了冲蚀过程,建立了抛光表面粗糙度预测模型并进行了实验验证,实验研究了工件超声振动对抛光效率和表面粗糙度的影响。研制了超声振动工作台和超声振动辅助流化磨料供给装置,并对超声振动工作台进行了模态分析和谐响应分析。结果表明,该工作台的振动特性满足研究要求,超声振动辅助流化磨料供给装置能对400#-2500#的磨料实现流量为200mg/s的稳定控制。模拟研究了超声振动辅助磨料水射流抛光加工中振动工件表面的射流冲击流场,分析了工件振动对壁面射流止滞区和侧流区压力、速度场的影响,实验测量了振动工件表面的射流冲击压力,研究了射流冲击振动工件表面时的流固耦合作用。结果表明,在边界剪切作用下,流场的止滞效应减弱：振动时的射流速度高于未振动时的射流速度,工件表面的流场速度分布不对称；在施加振动后,冲击压力波动幅度明显增加；工件表面射流压力略低于振动前,压力测量结果与模拟结果基本吻合；射流的冲击作用使变幅杆发生耦合振动和变形。与振动边界流场模拟结果相比,耦合分析得到的冲击区域压力值略低；速度场的峰值较高,分布形态更加不规则。建立了超声振动辅助磨料粒子冲蚀工件材料去除机理模型和单颗磨料粒子冲蚀工件材料去除体积模型。建立了超声振动辅助磨料水射流抛光时的磨料-工件接触力学行为有限元模型,研究了超声振动对于磨料-工件接触状态、冲蚀率和工件材料中冲击应力场的影响。结果表明,工件超声振动时的冲蚀率均高于不施加振动的情况。工件超声振动时的磨料-工件接触力较大,接触时间较长,磨料粒子速度降低显著。模拟研究了多颗磨料粒子冲击点完全重叠和部分重叠情况下超声振动对冲蚀率的影响。结果表明,工件超声振动时的冲蚀率均高于未施加振动的情况。当多颗磨料粒子冲击点部分重叠时,冲蚀区域的残余应力主要是压应力。建立了超声振动辅助磨料水射流光滑粒子流体力学模型。结果表明,工件超声振动时的冲蚀率较高。实验研究了超声振动辅助单颗磨料粒子的冲蚀情况。结果表明,在冲击角度相同的条件下,超声振动辅助磨料粒子冲蚀划痕深度较大。建立了超声振动辅助磨料水射流抛光表面粗糙度预测模型和基于二次响应曲面法的超声振动辅助磨料水射流抛光加工工艺参数优化模型。结果表明,表面粗糙度预测模型能较好地预测抛光表面粗糙度；抛光表面由大量冲蚀磨料粒子形成的微沟痕创成,工件材料的去除方式均为塑性剪切,工件原始表面上的微缺陷基本被完全去除；施加超声振动可提高冲蚀材料去除率和抛光效率,磨料粒子形成的沟痕深度略大于未施加超声振动的情况,表面粗糙度略高于未施加超声振动的情况；未施加超声振动时磨料粒子形成的沟痕是具有明显方向性的冲蚀纹理；施加超声振动的情况下,由于工件与磨料粒子的相对运动,冲蚀抛光沟痕排列随机,未呈现出明显的方向性。冲击角度,磨料粒径,水射流压力,射流压力和冲击角度、磨料粒径和冲击角度、冲击角度和超声振动功率的交互作用对抛光表面粗糙度的影响显著。