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本文从理论上讨论了投影显示用液晶光阀对光吸收层各种参数的要求,详细介绍了液晶光阀VOPc和CdTe复合吸收层的结构及其光电特性。提出了一种新型结构的无氧铜蒸发舟,有效的解决了有机材料VOPc的蒸发问题。通过在玻璃基底和复合薄膜之间添加SiO过渡层,增强了薄膜的强度。最后用阻蒸法制备了结构为SiO+CdTe+VOPc+CdTe+SiO的复合薄膜。并对薄膜的晶相结构、电阻率、光透过率、光吸收系数等电学和光学性质进行了测试和分析。通过分析薄膜厚度、沉积速率、舟温、基温等工艺参数对薄膜结构及光电特性的影响,得出了制备复合光吸收层的最佳工艺参数以及工艺条件。最后对薄膜的制备提出了一些建议。