随着微机械加工技术和MEMS技术的快速发展,微型化成为传感器发展的重要方向。采用与标准IC工艺相兼容技术制作而成的微热板式微气压传感器由于具有体积小、功耗低、量程宽、热响应快等优点,已成为国内外MEMS领域的重要研究方向。本文主要从理论分析、结构优化、以及性能测试等方面对微热板式微气压传感器进行了较为系统的研究。主要包括以下内容:首先,介绍了微热板式微气压传感器的传热形式,并对各个传热形式进行了分析。之后以理论为主,简单的介绍了微传感器的电热力耦合。接着介绍了影响电热力耦合分析的影响因素,并针对支撑桥的宽度的选取进行了仿真与分析。最后介绍了微热板式微气压传感器热传导的理论。之后,从仿真角度对微热板式微气压传感器的电热力耦合问题做了分析研究。首先,对微热板进行了电热理论分析并建立了理论分析模型;然后,采用有限元分析软件Ansvs对三种微热板不同结构的模型进行了热力分析,得到了微热板的热变形与其温度的对应关系;最后探讨了加入热传导的微气压传感器的理论模型的建立,采用了Ansys对模型进行了分析,通过与结果的对比得出结论。对模型进行了瞬态分析,并对结果与稳态对比。结果表明,相对于瞬态分析,稳态分析有操作简单,仿真时间相对较短的优点。但是瞬态不只是能够记录最后总的各个网格的温度和形变趋势,并且能够给出各个节点的温度或者形变变化过程图。这样可以发现一些稳态分析过程中很难发现的问题。同时,现代计算机的发展,对于复杂的仿真分析需要的时间也会越来越短,瞬态分析的时问稍长的缺点的影响将越来越小。瞬态分析的最大优点便是实时性,对于相对重要部分的节点,可以对其进行实时的观察与研究,这样不仅能够得到最后需要的结果,同时也能够对其过程产生的变量进行对比,发现其中的问题,可以为设计做出更好的指导。最后,介绍了微气压传感器测试系统气压自动控制的实现过程,然后,针对影响传感器测试效果的因素进行了分析,并对其中的温度方面进行了测试与分析。