一种共路补偿激光漂移方法及实验研究

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在激光准直高精度直线度测量中,激光漂移是影响其测量精度的主要因素。产生激光漂移的主要因素有三种:1.由于激光器本身原因造成的激光光线漂移,以及由于固定激光发射器的调整机构存在机械位移;2.由于空气折射率不均匀造成的激光光线弯曲;3.由于空气扰动造成的激光光线随机漂移。激光漂移存在角度漂移与平行漂移两种形式,由于角度漂移造成的误差量与准直距离成正比,故随着测量距离的增加,其对直线度/同轴度测量产生的误差将越来越大,尤其是在长距离的测量中,因此,在大型工件及长距离的测量中,必须控制激光的角度漂移以减少测量误差。 为减少激光角度漂移对激光准直的影响,本文提出了一种简单的共路补偿方法,通过实时测量激光角度漂移量对由此产生的误差进行补偿。这种共路补偿方法能用于任何准直测量,包括直线度和角度测量。论文分析了本共路补偿系统的测量原理,进行了系统设计,并进行了各种实验研究。实验结果表明:在2~8米的范围内,光线漂移所带来的附加直线度误差可减少30%~73.5%。
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