单频激光干涉测振方法具有光路结构简单、光源可光纤传输、测量结果易溯源等优点,在振动测量和计量中具有广泛的应用前景。近年来,随着单频激光干涉测振方法应用领域的不断扩展,被测对象的多样性使得测量表面的反射率差异很大,同时被测振动的形式也向高频微小振动和低频大振幅振动两个方向同时发展,这要求单频激光干涉测振技术向着宽频带、反射率自适应方向发展,并提出高精度、高分辨力、高测量速度的测量需求。本课题“单频激光干涉测振关键技术研究”主要针对单频激光干涉振动测量中被测物体表面反射率不同导致非线性误差变大、低反射率和高频测振条件下测量信号噪声大、高频测振时相位细分速度和分辨力相互矛盾等问题,首先研究一种可在不同反射率条件下进行低非线性误差测量的单频激光干涉测振光路及其非线性补偿方法,其次使用FIR低通滤波器来抑制信号噪声、保证测量分辨力的有效性,最后设计基于CORDIC算法的高速相位测量单元对振动相位进行高速实时检测。本课题的主要研究工作如下:针对振动测量中不同被测对象表面反射率差异较大引起非线性误差不同且难以补偿的问题,首先分析了被测对象表面反射率影响传统单频激光干涉仪输出信号特性的作用过程,并指出此时非线性误差将相应变化且难以补偿;为此,研究一种可适应不同反射率的单频激光干涉测振光路,采用该光路的测振仪其输出正交信号的直流偏置误差为零且增益比误差、非正交误差与反射率无关,解决了非线性误差随反射率变化的问题;在此基础上,通过增益调整和矢量相位校正运算来补偿正交信号残余的不等幅误差和非正交误差,进而在不同反射率下均可获得较低的非线性误差。针对振动测量中低反射率下信噪比变差及高速数据采集噪声大而导致有效测量分辨力下降的问题,首先对单频激光测振仪输出的正交信号进行FIR数字低通滤波,以抑制正交信号存在的高频噪声、提高正交信号的信噪比,从而保证了位移测量分辨力的有效性。针对高频振动测量中提出的高速实时测相需求,研究一种基于CORDIC算法的高速相位测量技术,首先对输入信号进行象限转换以满足CORDIC算法对输入角度的要求,然后将反正切算法转化为多级流水线迭代得到运算角度,从而实现了相位小数的细分;同时采用四细分辨向方法实现相位测量整数部分的辨向计数,利用多级流水方式实现相位测量中整、小数单元的同步工作,实现了整、小数相位的同步合成。在上述研究的基础上,本文搭建了UOI_LSV型单频激光干涉测振系统。等效测试实验结果表明,本文研制的单频激光干涉测振仪在10%到接近100%的反射率下其残余非线性误差优于±0.15nm,测量分辨力为38.6pm,最大测量速度达到1.582m/s,位移数据更新速率为40MHz。直接测试实验结果表明,振动频率测量范围为DC~130k Hz,振幅测量误差小于±10.3%,静态分辨力为0.3nm,残余非线性误差优于±1.98nm。