聚碳酸酯(PC)是一种综合性能优异的光学塑料,广泛应用于光学器件、信息存储、汽车和航天等领域。然而由于当前工业生产中使用电子束热蒸发法在PC基底上制备光学薄膜的工艺尚不完善,导致生产的产品可靠性差、寿命短。因此对光学薄膜的沉积技术还有待进一步研究和完善,以提高产品的可靠性。本文主要针对现今PC产品的可靠性问题,通过对材料特性进行研究和筛选,选择了Ti3O5作为高折射率材料,Si O2作为低折射率材料。基于薄膜光学理论,设计了分别以Ti3O5和Si O2为保护层的Al-介质高反射膜系结构,两种设计方案在400～700nm范围内平均反射率均大于96%,通过对两种膜系结构的薄膜进行测试和分析,最终选择了以Si O2为保护层的膜系结构。在制备过程中使用低能离子束处理和过渡层技术对PC表面进行改性,提高了PC的表面能。研究了Al的沉积工艺,通过不使用坩埚衬套,将Al膜料直接置于坩埚点位内蒸镀,解决了电子束蒸发Al时速率波动大和膜料喷溅的问题,有效地提高了工艺的重复性。对样品的可靠性和光谱进行了测试,根据测试结果对薄膜结构和制备工艺进行优化。提出了渐增式离子源工艺,研究了离子源工艺对薄膜性能的影响,借助SEM表征薄膜的微观结构,结果表明渐增式离子源工艺能够有效地提高薄膜的牢固度;通过在过渡层和Al层之间增镀Si O2的方法解决了水煮测试中出现的Al层脱膜问题;采用退火工艺和镀后离子束处理技术改善了恒温恒湿测试中出现的膜裂问题;通过调整最外层离子源工艺,改善了水煮测试后薄膜反射率下降和光谱漂移问题,最终样品通过了多项可靠性测试。