基于自制精密天平的AFM微悬臂弹性常数标定系统设计

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作为探索纳米尺度下材料的机械与物理性能的重要工具,原子力显微镜(AFM)广泛用于纳米力学、生命科学、纳米制造等领域。在基于AFM的精密测试应用中,AFM微悬臂起到至关重要的作用,因此开展AFM微悬臂弹性常数标定研究对促进微纳测量技术的发展具有重要意义。本文开展了基于柔性机构和微纳牛量级微力测量的微悬臂弹性常数标定系统的设计及关键技术研究。主要研究工作如下:依据天平法原理完成了AFM微悬臂弹性常数标定系统的原理设计,并进行了系统结构设计和仿真分析。采用精密位移台实现微位移的进给控制,利用自制精密天平测
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