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硅压阻式压力传感器宽温补偿方法研究及系统设计
【摘 要】
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硅压阻式压力传感器作为压力信息采集使用最广泛的器件,极易受温度变化的影响从而导致测试准确度降低。目前常用的温度补偿方式只能在较小温度范围内减小温度漂移的影响,如何在宽温范围下对硅压阻式压力传感器实现有效的温度补偿至今仍是一大难题。本文针对该问题,使用Comsol仿真软件对传感器结构和温度作用机理进行了仿真分析。分别从膜片尺寸构造、压敏电阻器掺杂浓度、工作时的焦耳热分布和热膨胀以及压阻效应的温度特性
【机 构】
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中北大学
【出 处】
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中北大学
【发表日期】
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2021年01期
【基金项目】
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