本论文分为四个章节。第一章是MEMS综述和对本论文工作的引出，第二章提出并论述了一种可以实现片上自标定功能的MEMS悬臂梁磁测量传感器的设计、制造和性能测试。第三章论述了动态谐振式MEMS悬臂梁传感器电磁驱动技术，研制了一种基于AGC的谐振驱动接口电路，文中给出了它的设计、制作和性能测试。 在第一章，本文介绍了该磁场测量传感器的研究背景和目前应用和研究中的各种MEMN磁场测量传感器的基本原理和分类。系统的论述了MEMS悬臂梁磁场传感器的工作机制。 第二章在，提出了一种具有片上自我标定功能的压阻MEMS悬臂梁磁场传感器。该传感器在悬臂梁前端集成了磁化的镍材料，因此在外界磁场作用下可以由磁力驱动悬臂梁的挠曲，采用悬臂梁末端集成在单一的芯片上的压阻进行检测，并且利用在芯片上集成的驱动线圈可以实现对悬臂梁上的镍进行剩磁检测，从而实现传感器测量的自标定。在大气条件下，传感器可以达到2.7313μT的测量灵敏度。同时文中也提出了进一步改进和提高要做的工作。 在第三章，分析了谐振式悬臂梁高灵敏度微传感器的力学和电学等效模型以及基于巴克豪森振荡准则的闭环谐振条件，提出了一种适合洛伦兹力驱动的，AGC式对硅压阻悬臂梁的谐振闭环电路，对驱动电路结构进行了系统和分级的系统分析。根据研制的闭环电路对硅压阻悬臂梁传感器进行了闭环检测和实验，给出了传感器电路对应的频率稳定度。闭环测试可以达到小于1Hz的闭环稳定度，对于传感器相当于达到了0.3pg的质量分辨率。在章末提出了改进和需要进一步做的工作。 在第四章，对本文工作进行了总结。