基于方箱的X-Y气浮工作台特性研究

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随着现代科技的飞速进步,精密和超精密运动导轨和运动工作台在超精密加工、光学精密测量、半导体等领域有着举足轻重的作用。与传统的二维工作台相比较有着更高的精度和响应速度,但也存在着承载小、刚度低和双轴垂直度精度较差等问题。为此,本课题室自主研发了一种以精密计量方箱为结构基准的双轴气浮工作台,它的性能对后续工作台的搭建和工件加工测量的精度和效率有着深远的影响。因此,为了准确掌握气浮工作台的性能及特性,本文提出了一种闭式气浮导轨的转角耦合处气膜间隙的处理方法,此方法可直接沿闭式导轨的气膜面进行整体计算。不同
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