物理气相传输法制备碳化硅晶体的工艺研究

来源 :哈尔滨工业大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：ciscohd

【摘要】

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【作者】

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张浩

【出处】

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哈尔滨工业大学

【发表日期】

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2004年期

【关键词】

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碳化硅 PVT 单晶缺陷

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