常规电解加工中所用的电解液易对机床、加工零件以及环境造成污染,针对这一情况,日本有学者提出了超纯水微细电解加工的构想;并且,通过实验证明,在超纯水中设置离子交换膜,可以增加超纯水中的离子浓度,进而提高电解电流密度,以产生实用的电解去除速度。这一构想不仅是一种绿色制造的新理念,而且对微细、精密加工有着重要的意义。 本文主要介绍超纯水电解加工的工艺方法,即超纯水微细电解加工技术。着重研究在离子交换膜作用下超纯水解离的机理;超纯水微细电解加工的必要条件;典型微细几何结构的成型规律;并分别采用直流电源和直流脉冲电源进行了工艺试验,探求各种因素对超纯水微细电解加工的电流密度、电流效率以及加工精度的影响。最后,对试验结果作了全面的分析讨论,总结了研究成果,对后续研究作了展望。 本课题的研究,为电解加工方法开辟了一条新的思路,并取得了阶段性的成果,为课题的后续研究以及工程应用奠定了基础。