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柔性衬底铜铟镓硒(CIGS)太阳电池具有很多优点,它不但质量轻、可弯曲,而且可采用绕带式沉积,可以实现大规模生产,显著降低生产成本。以不锈钢带和铜带作为柔性衬底,不仅价格低廉,而且能适应高质量器件的高温制备环境。但是衬底中有害元素的扩散会降低电池的质量,需在衬底和背电极之间制备一层扩散阻挡层。采用溅射后硒化法制备铜铟镓硒薄膜,易实现大规模的工业化生产;后硒化采用固态硒颗粒作为硒源,安全、环保对设备要求低。但是现有固态硒源硒化装置不能实现柔性电池的连续化卷绕生产。因此本文的重点是研究可以低沉本制备用于