【摘 要】
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高透过率和高导电性的透明导电氧化物(TCO)材料在光电器件中广泛应用。其中,氧化锌(ZnO)中掺杂镁(Mg)元素形成的镁锌氧(MgZnO)材料,相对于ZnO薄膜具有更好的光学透过率,在非晶硅(a-Si:H)太阳电池的应用中有较大的应用潜力。本论文的研究主要分为以下三部分:(1)采用磁控射频溅射法制备ZnO:Al(AZO)薄膜,通过四探针、XRD、SEM、光学透过率测试,分析不同因素对薄膜电阻、表面
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高透过率和高导电性的透明导电氧化物(TCO)材料在光电器件中广泛应用。其中,氧化锌(ZnO)中掺杂镁(Mg)元素形成的镁锌氧(MgZnO)材料,相对于ZnO薄膜具有更好的光学透过率,在非晶硅(a-Si:H)太阳电池的应用中有较大的应用潜力。本论文的研究主要分为以下三部分:(1)采用磁控射频溅射法制备ZnO:Al(AZO)薄膜,通过四探针、XRD、SEM、光学透过率测试,分析不同因素对薄膜电阻、表面形貌、光学透过的影响。研究表明,当Ar通量为50 sccm时,薄膜在400～800 nm范围内平均透过率
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膜乳化(ME)技术是以膜为接触界面,分散相通过膜孔进入连续相形成乳液的一种技术。此过程具有能耗低、效率高、乳液粒径分布窄等优点,成为极具前景的乳液制备技术之一。膜材料作为膜乳化过程的关键,应当具备窄的孔径分布、低的流动阻力、优异的化学耐久性、高的耐热性,可消毒性和价格低廉等优点。虽然当下科研人员对膜乳化及其膜材料研究很多,但开发专门用于膜乳化的多孔膜,尤其是聚合物多孔膜却极少。目前除了多孔玻璃(S